Stable thin film encapsulation of acceleration sensors using polycrystalline silicon as sacrificial encapsulation layer

Höchst, A; Scheuerer, R; Stahl, H; Fischer, F; Metzger, L; Reichenbach, R; Lrmer, F; Kronmuller, S; Watcham, S; Rusu, C

Endre søk

Permanent link

https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:ri:diva-31982

Direct link

https://ri.diva-portal.org/smash/record.jsf?pid=diva2:1151840

Referera

Referensformat

apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annet format

Fler format

Språk

de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annet språk

Fler språk

Utmatningsformat

html
text
asciidoc
rtf

Stable thin film encapsulation of acceleration sensors using polycrystalline silicon as sacrificial encapsulation layer

Höchst, A

Scheuerer, R

Stahl, H

Fischer, F

Vise andre og tillknytning

2004 (engelsk)Inngår i: Sensors and Actuators A-Physical, ISSN 0924-4247, E-ISSN 1873-3069, Vol. 114, s. 355-361Artikkel i tidsskrift (Fagfellevurdert) Published

sted, utgiver, år, opplag, sider

2004. Vol. 114, s. 355-361

HSV kategori

Identifikatorer

URN: urn:nbn:se:ri:diva-31982OAI: oai:DiVA.org:ri-31982DiVA, id: diva2:1151840

Tilgjengelig fra: 2017-10-24 Laget: 2017-10-24 Sist oppdatert: 2025-09-23bibliografisk kontrollert

Open Access i DiVA

Fulltekst mangler i DiVA

Av organisasjonen

I samme tidsskrift

Sensors and Actuators A-Physical

Om emnet

Søk utenfor DiVA

Google Google Scholar

urn-nbn

Totalt: 79 treff

Referera ExporteraLink to record