Change search
CiteExportLink to record
Permanent link

Direct link
Cite
Citation style
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Other style
More styles
Language
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Other locale
More languages
Output format
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Analys av tunna ytskikt med FIB och GDOES
RISE, Swerea, Swerea KIMAB.
RISE, Swerea, Swerea KIMAB.
RISE, Swerea, Swerea KIMAB.
RISE, Swerea, Swerea KIMAB.
Show others and affiliations
2011 (Swedish)Report (Refereed)
Abstract [sv]

I arbetet med denna rapport undersöktes fokuserad jonstrålemikroskopi (eng. Focused Ion Beam, FIB) för användning vid undersökning av ultratunna ytlager. Metoden jämfördes även med en för oss på KIMAB välkänd teknik, GD-OES (Glow discharge optical emission spectroscopy). Som slutsats kan sägas att metoderna kompletterar varandra bra. Med GD-OES erhålls en analys med god djupupplösning men utan egentlig lateral upplösning (ytan 2-8 mm), den kemiska informationen om skiktets sammansättning är mycket noggrann. FIB är en metod som ger mycket hög lateral upplösning och metoden är mycket väl lämpad för att analysera variationer i skikten. Med FIB fås också detaljerade elektronoptiska bilder med hög upplösning. Nio stycken material studerades i arbetet med rapporten, med fokus på ytlagrets egenskaper, tjocklek och sammansättning.

Place, publisher, year, edition, pages
Swerea KIMAB AB , 2011.
Series
Rapport / Institutet för metallforskning, ISSN 1403-848X ; KIMAB-2011-109
National Category
Materials Engineering
Identifiers
URN: urn:nbn:se:ri:diva-13013OAI: oai:DiVA.org:ri-13013DiVA, id: diva2:973207
Available from: 2016-09-22 Created: 2016-09-22Bibliographically approved

Open Access in DiVA

No full text in DiVA

By organisation
Swerea KIMAB
Materials Engineering

Search outside of DiVA

GoogleGoogle Scholar

urn-nbn

Altmetric score

urn-nbn
Total: 8 hits
CiteExportLink to record
Permanent link

Direct link
Cite
Citation style
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Other style
More styles
Language
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Other locale
More languages
Output format
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
v. 2.34.0