Vänta ...
Enkel sökning
Avancerad sökning
Statistik
English
Svenska
Norsk
Hoppa till innehåll
Ändra sökning
Sök
Sök
Endast dokument med fulltext i DiVA
Referera
Exportera
BibTex
CSL-JSON
CSV 1
CSV 2
CSV 3
CSV 4
CSV 5
CSV all metadata
CSV all metadata version 2
RIS
Mods
MARC-XML
ETDMS
Länk till posten
Permanent länk
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:ri:diva-25201
Direktlänk
http://ri.diva-portal.org/smash/record.jsf?pid=diva2:1132646
Referera
Referensformat
apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annat format
apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annat format
Fler format
Språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annat språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
html
text
asciidoc
rtf
html
text
asciidoc
rtf
Skapa
Stäng
Double sided bulk micromachining of SOI films using room temperature oxygen plasma assisted bonding,
Sanz-Velasco, A
Rödjegård, H
RISE., Swedish ICT, SICS, Imego.
Andersson, Gert
RISE., Swedish ICT, SICS, Imego.
ORCID-id:
0000-0001-6637-9859
2002 (Engelska)
Ingår i:
Proceedings Volume 4755, Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002; (2002), 2002
Konferensbidrag (Refereegranskat)
Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2002.
Nationell ämneskategori
Elektroteknik och elektronik
Identifikatorer
URN:
urn:nbn:se:ri:diva-25201
DOI:
10.1117/12.462867
OAI: oai:DiVA.org:ri-25201
DiVA, id:
diva2:1132646
Tillgänglig från:
2018-07-02
Skapad:
2016-10-31
Senast uppdaterad:
2020-12-01
Bibliografiskt granskad
Open Access i DiVA
Fulltext saknas i DiVA
Övriga länkar
Förlagets fulltext
Person
Andersson, Gert
Sök vidare i DiVA
Av författaren/redaktören
Andersson, Gert
Av organisationen
Imego
I ämnet
Elektroteknik och elektronik
Sök vidare utanför DiVA
Google
Google Scholar
doi
urn-nbn
Altmetricpoäng
doi
urn-nbn
Totalt: 29 träffar
Referera
Exportera
BibTex
CSL-JSON
CSV 1
CSV 2
CSV 3
CSV 4
CSV 5
CSV all metadata
CSV all metadata version 2
RIS
Mods
MARC-XML
ETDMS
Länk till posten
Permanent länk
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:ri:diva-25201
Direktlänk
http://ri.diva-portal.org/smash/record.jsf?pid=diva2:1132646
Referera
Referensformat
apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annat format
apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annat format
Fler format
Språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annat språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
html
text
asciidoc
rtf
html
text
asciidoc
rtf
Skapa
Stäng
v. 2.45.0
|
WCAG
DiVA
Logotyp