Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Multi-axis piezoelectric energy harvesting using MEMS components with slanted beams
RISE., Swedish ICT, Acreo.ORCID-id: 0000-0003-1793-4451
RISE., Swedish ICT, Acreo.
RISE., Swedish ICT, Acreo.ORCID-id: 0000-0002-0459-1157
2016 (Engelska)Ingår i: Journal of Physics, Conference Series, ISSN 1742-6588, E-ISSN 1742-6596, Vol. 773, nr 1, artikel-id 012080Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

During the manufacturing of MEMS components, slanted beams can be produced in the etching process. We show that this can be used to produce skew motion that causes deflection of a proof mass out of the device plane also when the excitation is confined to the device plane. This allows construction of an energy harvester that uses a planar manufacturing process and produces power also with in-plane excitation. To obtain this with traditional methods it would be necessary to manufacture separate components and then mount them with their sensitive axes orthogonal to each other.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2016. Vol. 773, nr 1, artikel-id 012080
Nyckelord [en]
Energy conversion, Manufacture, Nanotechnology, Energy Harvester, Etching process, Manufacturing process, Multi-Axis, Piezoelectric energy harvesting, Proof mass, Slanted beams, Energy harvesting
Nationell ämneskategori
Data- och informationsvetenskap
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:ri:diva-32557DOI: 10.1088/1742-6596/773/1/012080Scopus ID: 2-s2.0-85009820189OAI: oai:DiVA.org:ri-32557DiVA, id: diva2:1155619
Konferens
16th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2016), December 6-9, 2016, Paris, France
Tillgänglig från: 2017-11-08 Skapad: 2017-11-08 Senast uppdaterad: 2023-05-16Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

fulltext(1015 kB)122 nedladdningar
Filinformation
Filnamn FULLTEXT01.pdfFilstorlek 1015 kBChecksumma SHA-512
bfeaf01a06940eb1b9046cbaf61b77c784f6b15622fe624595ae998ae5fbf91d20510e5ab9c0811f46189b2859eb11e50d188c3aee628d587048f8493fc2a3dc
Typ fulltextMimetyp application/pdf

Övriga länkar

Förlagets fulltextScopus

Person

Johannisson, PontusRusu, Cristina

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Johannisson, PontusRusu, Cristina
Av organisationen
Acreo
I samma tidskrift
Journal of Physics, Conference Series
Data- och informationsvetenskap

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar
Totalt: 122 nedladdningar
Antalet nedladdningar är summan av nedladdningar för alla fulltexter. Det kan inkludera t.ex tidigare versioner som nu inte längre är tillgängliga.

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 90 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf