Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
A cubic isotropic X-ray dose detector diode fabricated by DRIE of SOI substrates
RISE - Research Institutes of Sweden (2017-2019), ICT, Acreo.
RISE - Research Institutes of Sweden (2017-2019), ICT, Acreo.
RISE - Research Institutes of Sweden (2017-2019), ICT, Acreo.
RISE - Research Institutes of Sweden (2017-2019), ICT, Acreo.
Visa övriga samt affilieringar
2014 (Engelska)Ingår i: Sensors and Actuators A-Physical, ISSN 0924-4247, E-ISSN 1873-3069, Vol. 213, s. 116-21Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

A novel X-ray detector diode, optimized for angular independent (isotropic) dose response, is presented. The diode is designed as a silicon cube with p-n junctions on all six sides, which creates a device that is close to being symmetrical in 3D. The cube edge is 300 μm or 410 μm. Its manufacturing process is based on micromachining, featuring deep reactive ion etching (DRIE) of silicon-on-insulator (SOI) substrates, doping of vertical walls from gas phase dopants and re-fill of etched trenches with polysilicon. The variation in detector response to 6 MV X-rays, in a ±30° beam angle range, was at best ±0.5% for a cubic diode compared to ±3.3% for conventional diodes, which indicates improvement by a factor 7.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2014. Vol. 213, s. 116-21
Nationell ämneskategori
Data- och informationsvetenskap
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:ri:diva-31954DOI: 10.1016/j.sna.2014.04.014Scopus ID: 2-s2.0-84901240995OAI: oai:DiVA.org:ri-31954DiVA, id: diva2:1151812
Tillgänglig från: 2017-10-24 Skapad: 2017-10-24 Senast uppdaterad: 2020-12-01Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltextScopus
Av organisationen
AcreoViktoria
I samma tidskrift
Sensors and Actuators A-Physical
Data- och informationsvetenskap

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 75 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf