Endre søk
RefereraExporteraLink to record
Permanent link

Direct link
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annet format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Double sided bulk micromachining of SOI films using room temperature oxygen plasma assisted bonding,
RISE., Swedish ICT, SICS, Imego.
RISE., Swedish ICT, SICS, Imego.ORCID-id: 0000-0001-6637-9859
2002 (engelsk)Inngår i: Proceedings Volume 4755, Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002; (2002), 2002Konferansepaper (Fagfellevurdert)
sted, utgiver, år, opplag, sider
2002.
HSV kategori
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:ri:diva-25201DOI: 10.1117/12.462867OAI: oai:DiVA.org:ri-25201DiVA, id: diva2:1132646
Tilgjengelig fra: 2018-07-02 Laget: 2016-10-31 Sist oppdatert: 2018-07-19bibliografisk kontrollert

Open Access i DiVA

Fulltekst mangler i DiVA

Andre lenker

Forlagets fulltekst

Personposter BETA

Andersson, Gert

Søk i DiVA

Av forfatter/redaktør
Andersson, Gert
Av organisasjonen

Søk utenfor DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetric

doi
urn-nbn
RefereraExporteraLink to record
Permanent link

Direct link
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annet format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
v. 2.35.7